在半导体行业中,电镀技术是生产处理芯片不可或缺的一环。半导体电镀设备专业设计用于将重金属离子从电镀液中沉积到单晶硅片表层,产生电源电路互联层。这一过程对于降低电阻器、降低功能损耗、控制成本以及提升处理芯片特性尤为重要。不仅在单晶硅片上堆积金属材料外,这种设备还广泛用于先进封装技术性,如柱型突点、再分布层、密度高的扇出和埋孔技术性里的铜、镍、锡、银、金等金属电镀。
一、半导体电镀设备操作流程
1、预备处理环节
清洗预备处理待镀的半导体原材料,以保证表面清洁零污染。
2、电镀槽提前准备
提前准备带有需要重金属离子的电镀液,并调整其环境温度、浓度值等关键参数。
3、系统启动
运行电镀设备,将半导体原材料放进电镀槽,并施用适度的电流。
4、电镀工艺全过程
在电流的作用下,重金属离子向半导体工件表面挪动,产生金属材料层。通过调节电流和时长等数据,会获得所需要的涂层厚度和品质。
5、后处理工艺环节
电镀工艺结束后,对涂层进行清洁干燥等操作,并完成半导体商品制作。
二、半导体电镀设备技术特征与优势
1、控制
半导体电镀设备配置了前沿的自动控制系统,可以控制电流量、时长等数据,保证镀层的均匀度和品质。
2、绿色环保
机器设备采用高效的电镀液循环和废液处理系统软件,降低能源消耗和环境危害。
3、多元化的涂层原材料
提供多种金属和合金的电镀工艺,根据不同的业务需求调节涂层材料及特点。
4、高效化生产制造
电镀设备设计提升了工作内容效率,并实现了自动操作,进而提高了生产效率,降低生产成本。